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    氦質譜檢測儀

      技術參數:

      最小可檢漏率(負壓模式)  5×10-13Pa?m3/s

      最小可檢漏率(正壓模式)  1×10-8Pa?m3/s


      檢漏口壓強  粗檢 1500Pa

                  中檢 200Pa

                  精檢 40Pa


      響應時間                <1s

      啟動時間                ≤3min

      前級油泵抽速              0.5L/s  

      外形尺寸(W×D×H)         845×465×988

      重量                   73Kg

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